真空ポンプは、機械的、物理的、化学的、または物理化学的方法を使用して容器を排気し、真空を作り出すデバイスまたは装置です。簡単に言うと、真空ポンプは、さまざまな方法を使用して密閉空間内の真空を改善、生成、維持する装置です。
(1) 広い圧力範囲にわたって比較的高い排気速度を持っています。
(2) ロータは幾何学的対称性に優れているため、振動が少なくスムーズに作動します。ローター間およびローターとケーシングの間に隙間が存在するため、潤滑が不要となり、摩擦損失が最小限に抑えられ、駆動力が大幅に低減されるため、高速化が可能になります。
(3) ポンプ室内にオイルシールや潤滑が不要なため、真空システムの油蒸気汚染が軽減されます。
(4) ポンプ室内には圧縮弁や排気弁がありません。構造がシンプルかつコンパクトで、圧送ガス中の粉塵や水蒸気の影響を受けにくいため、
(5) 圧縮比が比較的低いため、水素のポンピング効果が不十分になります。
(6) ロータ表面は比較的複雑な曲面円筒面となっており、加工や検査が困難です。
